助推Micro LED财产化过程,迈为股分顺遂托付激光剥离、巨量转移装备
时候: 2024.08.08

克日,迈为股分自立研发的 最新一代Micro LED激光剥离装备(LLO)和Micro LED巨量转移装备(LMT)胜利完成样品考证,顺遂托付至新型显现范畴头部企业,助力客户端更好地打造Micro LED产物线。

迄今,迈为股分已向多家客户供给Micro LED激光剥离、巨量转移装备,博得这两项产物在固体激光范畴的最高市场份额。

作为Micro LED焦点制程装备,迈为股分这两款产物的进一步利用,标记着公司在该范畴的手艺成熟度与抢先性,正在不时鞭策Micro LED及相干显现手艺的进级迭代与立异成长。

进步前辈装备——Micro LED手艺财产化的推动器

最近几年来,Micro LED凭仗其高亮度、高剖析度、高对照度、低功耗等优胜机能成为将来显现手艺的新星,依靠量产手艺的推动,正不时向广漠的利用范畴渗入,从智能穿着、车载显现、智能车灯到商用显现大屏等。

Micro LED尺寸细小,制程工艺难度大,此中巨量转移工艺关头须要将数十万乃至上百万微米级的Micro LED晶粒精准、高效地转移至方针基板上,转移过程对数量、速率、精度、良率、靠得住性都请求极高,对装备手艺布满挑衅,是Micro LED财产化过程及降本的关头。

对此,迈为股分于2022年胜利开辟了Micro LED激光巨量转移量产装备,该装备接纳高机能紫外激光器,共同高指向性光路体系,可针对差别尺寸产物调剂光斑巨细,同时连系高紧密活动平台、高速率高精度振镜扫描,完成高效力、高矫捷度、高品德的晶粒转移结果。

而作为巨量转移的前道工艺,激光剥离的结果间接影响着转移的良率与效力,是以对其加工品德的请求也极高。

迈为股分自立研制的Micro LED激光剥离装备接纳了DPSS固体激光器,针对Micro LED晶圆停止激光剥离, 完成GaN内涵层和蓝宝石衬底的分手。相较前一代产物,迈为股分本次托付的装备进级至全新平顶光整形挑选性剥离手艺,装备高紧密视觉成像定位体系及高紧密活动节制体系,全体均一性高,剥离结果优于准份子工艺,量产良率可达到99.999%。

跟着AI利用在显现范畴的拓展延长,立异正成为新型显现手艺掌握科技变更,拥抱将来市场的关头。自2020年起,迈为股分面向Micro LED范畴,自立研发了晶圆键合、激光剥离、激光巨转、激光键合、激光修复、激光切割及D2D键合、夹杂键合等全套装备,为Micro LED的财产化过程注入了新动能。将来,公司将延续攻坚焦点手艺,不时完美MLED整线工艺处理计划,助力新型显现行业加快完成高品质成长。