GW级双面微晶异质结高效电池制作全体处置计划
凭仗延续不时的自立研发，迈为股分领先完成了异质结电池整线装备的国产化。最新一代全体处置计划单线年产能达1.2GW，完全笼盖了异质结电池出产的四道工序，经由进程大片化、薄片化、半片化制程， 连系立异PECVD双面微晶工艺线路，集成整线MES智能片级追踪体系，晋升太阳能电池的转换效力、 良率、产能，同时下降出产本钱。
双面微晶手艺的操纵能够让电池片透光性更好、导电性更佳，有用晋升异质结电池的光电转换效力。
工序流程
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01制绒洗濯
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02硅基薄膜堆积(PECVD)
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03通明导电薄膜堆积（PVD）
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04丝网印刷
计划上风
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制绒洗濯装备可兼容多种工艺线路， 可集成背抛工艺+ACP， 高效增添剂， 进步前辈节水计划进一步下降水耗
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PECVD装备全主动完成双面镀膜、 在线准静态镀膜， RPS自洗濯，产能高， 无需行车
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PVD装备持续完成正反面TCO镀膜， 产能高，12个工艺单位(PU), 兼容低铟叠层需要， 无需行车，靶材操纵率高达80%
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丝网印刷装备卡塞式固化，集成光注入；高精度高精确度高速率丝网印刷 ；大幅晋升电池片产能及良率
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主动化硅片打仗起码，情况节制， 集成在线检测
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壮大的MES中控体系可停止数据收罗、产线监测、 产线管控、统计阐发，完成量产片级跟踪，追溯每片电池的出产进程
工序一：制绒洗濯
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制绒洗濯装备 HJ-TEX-210H
该套装备用酸碱药液将硅片外表刻蚀成金字塔纹理布局，再停止洗濯、烘干。制绒洗濯可去除切割毁伤层、去除净化、构成升沉不平的绒面、增添光的接收。
装备参数
装备上风
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兼容大尺寸硅片、薄片、半片，产能大且充实客制化
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工艺可控度高（定排定补）
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机台内情况节制严酷
（酸碱断绝、FFU等) -
数据收罗完全
（lot log、ID追踪、记实曲线等）
工艺流程
补充申明
可供给配套槽式洗濯装备、链式洗濯装备、返工洗濯装备。
工序二：硅基薄膜堆积（PECVD）
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PECVD镀膜装备 Maxwell MV-LH07K
一套在线多腔体准静态PECVD装备，在单晶硅片正反面堆积本征非晶硅和搀杂纳米硅薄膜层。
装备参数
装备上风
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Inline多腔体准静态PECVD镀膜手艺
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分层高品德非晶硅钝化镀膜手艺
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PECVD接纳怪异曲面showerhead放电阴极设想布局
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大尺寸、轻载荷、低热收缩系数、高立体度的复合载板设想
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Inline耐侵蚀磁流体真空传递大尺寸载板
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RF疾速启辉设置及辉光及时监控
工艺流程
工序三：通明导电薄膜堆积（PVD）
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PVD镀膜装备 MW-PVDP7A
一套卧式在线磁控溅射持续镀膜装备，经由进程靶材溅射与堆积来制备通明导电薄膜，可同时停止双面镀膜。
装备参数
装备上风
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单台装备年产能高达约1.2GW
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HJT 高效电池PVD镀膜公用大尺寸、轻载荷、低热收缩系数、高立体度，高有用镀膜面积不锈钢载板设想
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HJT高效电池大产能低碎片率的PVD腔体布局设想
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强磁高温高溅射率的PVD阴极布局设想
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疾速平均的加热单位设想
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低薄膜不平均性的PVD阴极腔体设想
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在线PVD高速快节奏的高品德TCO薄膜镀膜手艺
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全性命周期静态闭环控水体系
工艺流程
工序四：丝网印刷
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异质结高效电池丝网印刷整线装备 MX-HDL
该套装备利用丝网印刷的体例在电池正反面印刷银浆，构成金属电极，并停止测试、固化光衰。
装备参数
装备上风
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兼容MES、UPS和RFID功效
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高精度、高精确度、高速率丝网印刷
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大产量半片机台
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整线设置装备摆设无人主动化
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整线迈为便宜，包含检测装备
工艺流程
