Mini LED晶圆劈裂装备
本装备接纳物理加工体例,将晶圆安排在受台上,以劈刀起落活动感化在晶粒切割道上,使得晶粒单颗分隔。装备包罗主动高低料单位、对位单位、劈刀受台单位、击锤单位。
装备上风
-
01无人值守全主动加工,残片也可全主动加工
-
02装备布局设想公道,一键疾速换刀
-
03主动扫条码,上抛出产信息
-
04主动弥补刀深手艺
-
05
-
06
装备展现

根基信息
-
1. 合用产物:2-6 inch 红黄、蓝绿LED晶圆
-
2. 可劈裂产物厚度:50~300μm
-
3. 可劈裂颗粒巨细:3×4-60×60mil
-
4. 可劈裂切割道道宽:≥10μm