8/12英寸全主动晶圆预处置装备
该装备兼容 12 inch Frame & 8/12 inch 晶圆，包含晶圆洗濯和外表活化预处置单位。
装备上风
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01零件模块化设想，便利装置调试和保护
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02内情况达Class1品级
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03全主动装备，撑持Frame/Wafer主动高低料，可完成软件全主动功课节制
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04关头部件便宜
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装备展现
根基信息
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1. 合用产物：8/12 inch 晶圆 ＆ 12 inch Frame