6/8英寸半主动晶圆洗濯装备

该装备配有多路化学液及水气二流体、不变高精的对中单位和功效壮大的化学柜，普遍合用于大局部键合前或解键合后的晶圆洗濯。

装备上风
  • 01
    撑持液路回吸功效，可防止工艺进程中滴液，确保工艺品质
  • 02
    撑持Degas除泡功效，可有效去除化学液中的气泡，晋升洗濯品质
  • 03
    2路化学液和1路水气二流体，对灰尘微粒、无机物等净化物有极高的去除才能
  • 04
    可选配兆声洗濯计划，进一步晋升洗濯结果
  • 05
    具有高精度、操纵便利的对中体系
  • 06
    主动补液泵，既简化了手动换液流程，又防止了报酬搬运危险
装备展现
6/8英寸半主动晶圆洗濯装备
根基信息
  • 1. 合用产物：4/6/8 inch 晶圆洗濯