物理气相堆积 (PVD) 镀膜装备_Maxwell P6K

一套卧式在线磁控溅射持续镀膜装备，经由过程靶材溅射与堆积来制备通明导电薄膜，可同时停止双面镀膜。

装备上风
  • 01
    单台装备年产能高达约720MW
  • 02
    HJT高效电池PVD镀膜公用大尺寸、轻载荷、低热收缩系数、高立体度，高有用镀膜面积不锈钢载板设想
  • 03
    HJT高效电池大产能低碎片率的PVD腔体布局设想; 强磁高温高溅射率的PVD阴极布局设想
  • 04
    疾速平均的加热单位设想
  • 05
    下降薄膜不平均性的PVD阴极腔体设想
  • 06
    在线PVD高速快节奏的高品德TCO薄膜镀膜手艺
  • 07
  • 08
  • 09
装备展现
物理气相堆积 (PVD) 镀膜装备_Maxwell P6K
根基信息
  • 1. 产能（片/ 小时） 及硅片尺寸*：17280片@G12半片；19400片@G12半片