8/12英寸半主动晶圆瞄准装备
该装备配有高精度光学瞄准体系、高不变性气浮活动布局和简练易操纵的UI界面，可知足各类 8/12 inch 晶圆键合瞄准计划需要。
装备上风
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01可兼容8/12 inch 晶圆瞄准
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02装备高精度的视觉对位体系，优良的同轴校准精度
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03超紧密宏动/微动气浮载台
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04全主动化瞄准进程，简练易操纵的UI界面，极大减小人力培训本钱
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05零件模块化设想，便利装置调试和保护
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06功效壮大的图形辨认算法，即便图形缺损也能胜利定位中间
装备展现
根基信息
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1. 合用产物：2.5D，3D/MEMS/CIS等进步前辈晶圆级封装
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2. 可对应尺寸：8/12 inch